由于普通旋片油泵的漏油、噪聲、返油污染、高能耗以及振動等問題給用戶造成不良影響，如生物制品行業(yè)與半導(dǎo)體行業(yè)的油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油問題。真空鍍膜設(shè)備的鍍膜工藝中，在20～40Pa真空條件下鍍膜時，如果應(yīng)用普通旋片機械真空泵作為前級真空泵將對鍍膜工藝設(shè)備造成污染，影響成膜質(zhì)量。半導(dǎo)體晶片制造工藝當中使用油泵與使用于泵相比，成品率存在明顯的差距，并且排出的油霧蒸汽對環(huán)境也有污染.科學(xué)儀器行業(yè)尤其是在分析測試儀器行業(yè)，采用油泵對測試結(jié)果將造成不良影響。大型同步輻射光束線上采用無油渦旋真空泵作為前級真空泵的作用也相當明顯。另外無油渦旋真空泵消除了普通油泵的漏油給用戶帶來的環(huán)境污染與煩惱。現(xiàn)有無油渦旋真空泵用戶的使用情況也證明了這種泵的優(yōu)越性和可*性。
為防止普通旋片油真空泵對真空系統(tǒng)的返油污染,需要在抽氣系統(tǒng)中加冷阱捕獲油分子；系統(tǒng)運行過程當中還需要定期清洗除油；有的需要定期更換真空泵油.采用無油渦旋真空泵第一部需要加冷阱之類捕油機構(gòu)、第二不需要更換真空泵油、第三振動更小、運行更平穩(wěn)、第四能耗降低、第五重量更輕、第六突破了油泵使用范圍的限制。這些優(yōu)點使無油渦旋真空泵成為普通旋片油真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
無油渦旋真空泵主要部件為渦旋盤付曲軸和密封墊.該泵的抽氣——壓縮——排氣機理是在動、靜渦旋盤相互不接觸的情況下，依*動、靜渦旋盤相對轉(zhuǎn)動形成吸氣腔和壓縮腔，將被抽氣體排出，連續(xù)完成吸氣、壓縮和排氣過程。在充分考慮抽氣過程中發(fā)生熱交換的情況下，盡量減少動、靜渦盤問的徑向和軸向間隙,可以提高抽速和極限真空度。 針對無油渦旋真空泵結(jié)構(gòu)上存在著的運轉(zhuǎn)過程中水分和雜質(zhì)易積聚和軸承易磨損的弱點,加氣鎮(zhèn)閥是必要的選擇。
結(jié)構(gòu)上的改進主要有兩點：
①．加氣鎮(zhèn)閥使極限真空度保持要求值——進氣壓力O.03MPa(G)以下，流量lOL/min以下；
②．軸承端面加雙側(cè)密封圈密封，有效防止軸承磨損。
在無油渦旋真空泵的設(shè)計過程中，需要解決的問題包括：
①．渦旋泵的CAD設(shè)計一一型線方程的確定及修正，初始角修正，運動模擬；
②．渦旋盤的加工一一加工精度、加工工藝間隙的大小：抽速、極限真空度；
③．渦旋盤的表面處理一一耐腐蝕、潤滑、硬度、處理工藝、表面均勻性；
④．密封墊材料的選擇與加工——密封墊要求有彈性、耐磨、不產(chǎn)生微粒。
使用前與使用過程中應(yīng)當注意的安全事項包括：無油渦旋真空泵的抽氣范圍(用于抽潔凈氣體。不能抽有毒、易燃、易爆、腐蝕性氣體、化學(xué)品、溶劑及粉末等)。安裝要求(安裝在沒有易燃、易爆物品、避雨、無蒸汽的安全場所)。安裝在水平面上(傾角小于5。)。周圍無灰塵、無鐵屑、石塊或木塊。一定要安全接地。一定要安裝緊急制動開關(guān)。接線要由合格的電工完成)。在合適的工作環(huán)境溫度(5～40℃)內(nèi)工作。正確安裝使用(接線或檢查時必須切斷電源，不能將手指或其他物品放人泵的氣孔或冷卻翅片的間隙中)。正確維修檢驗(根據(jù)本說明書要求定期檢查，泵徹底冷卻后再進行維護與檢驗工作；由專業(yè)人士維修，不能改造此泵)。
安裝前要認真檢查下述各項：
①．檢查確認包裝放置方向正確。
②．檢查確認產(chǎn)品為訂購的型號。
③．檢查確認無破損。
④．泵運轉(zhuǎn)時拆掉進氣口與排氣口法蘭。如果連續(xù)帶法蘭工作，會對泵引起損害。
安裝時應(yīng)注意：
①．安裝在避雨、無蒸汽的場所，避免電擊危險；
②．安裝在通風良好、隔絕爆炸物、無腐蝕性和易燃氣體及其他有關(guān)物體處。
③．安裝在堅實、平整面上(傾角小于5。)，陽光不能直射處。
④．在規(guī)定環(huán)境溫度范圍(5—40℃)內(nèi)工作。
要在真空室和進氣口連線上安裝截止閥和排氣閥。這些閥用于開關(guān)無油渦旋真空泵時阻止泵中積存的碎屑被抽回真空室中。開關(guān)泵時要先關(guān)閉截止閥。連接管路一定要潔凈。建議使用軟管連接，這樣泵的振動不會傳到真空室。連接排氣管時要注意管的長度和尺寸。建議排氣管長不超過15米，內(nèi)徑25mm。注意泵工作時排氣管不能堵塞。注意排氣壓力不能超過大氣壓。連線時必須首先斷開電源，由合格的電工連線。泵必須提供外部保護，如8L/s泵最小電路容量為單相、18A，最大分路電流斷路器容量為15A。一定要安裝推薦容量的電流斷路器以避免電機燒毀，電線和地線截面積一定要超過2mm2。否則會引起損害或火災(zāi)。與電機接線端子連接的電線要配適當?shù)膱A圈形接頭。一定要接地。否則可能引起電擊或人身傷害。交貨時連線電壓為單相，220伏。
無油渦旋真空泵在初次啟動或者長期不用時達到極限真空需要較長時間。應(yīng)在關(guān)閉進氣閥狀態(tài)下連續(xù)抽氣6—8小時，每小時打開進氣閥2～3次，每次3～5秒。如果泵抽水或者高濕度氣體(相對濕度>60％)，水汽可能殘留在泵中降低泵的性能。這時關(guān)閉泵與系統(tǒng)之間的截止閥，啟動泵，運轉(zhuǎn)時打開進氣閥進大氣幾次，每次3—5秒，可以將泵中的水汽排出。泵工作時要拆去進氣口法蘭和排氣口法蘭，否則會對泵有損害。泵啟動和關(guān)閉時要關(guān)閉截止閥，否則開關(guān)泵時泵中積存的碎屑會被抽回真空室中。重新啟動泵時，啟動前要開啟進氣閥進大氣3—5秒，否則會造成泵中溫度不平衡，導(dǎo)致泵失效。
無油渦旋真空泵的啟動步驟包括：
①．關(guān)閉截止閥(以免泵中積存的碎屑會被抽回真空室中(帶漏氣閥開寸耍開啟漏氣閥))；
②．打開泵開關(guān)；
③．開啟截止閥(檢查確認真空泵已開啟，使用漏氣閥時要關(guān)閉漏氣閥，抽真空室)。
停泵步驟包括：
（1）關(guān)閉截止閥(避免泵中積存的碎屑被抽回真空室)；
（2）關(guān)閉泵開關(guān)。
（3）無油渦旋真空泵的操作——抽水汽